材料研發

聰明的研究手段

Surfx Atomflo系列產品,已經賣給許多大學、政府和業界實驗室,超過300篇的學術論文,都使用了我們的設備進行研發工作。透過不同的配方選擇,我們可以活化表面、去除有機髒汙、還原金屬氧化物、去除光阻與表面改質。此外,通過安裝鍍膜配件於電漿頭,並搭配前驅物輸送系統,我們可以將電漿設備轉變成化學氣相沉積(PECVD)的工具。氬氣電漿屬於RF電容放電,電漿頭出口可見到均勻的輝光,並排出具活性的電漿氣體團。製程氣體也可以透過選擇,輕易的在氧氣、氮氣與氫氣之間進行切換。

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透過Surfx的電漿沉積系統,史丹佛大學的Dauskard’t教授團隊在低溫環境下,將高透明、多功能性雙層塗層以化學氣相層積沉法,沉積在高分子表面。(L. Cui, et. al., ACS NANO, vol. 8, 7186-7191, 2014).

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關於我們

Surfx Technologies提供了市場上最好的氬氣電漿:高產能、均勻性佳、完備製程控制、高可靠度、高品質。我們的常壓式氬氣電漿對電磁敏感的電子元件完全無害,也適合用於連續式生產,針對表面進行清潔、活化以促進接著表現。我們的專業團隊會協助您,選擇最適合您的電漿解決方案。

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