材料研發

Surfx Atomflo系列產品，已經賣給許多大學、政府和業界實驗室，超過300篇的學術論文，都使用了我們的設備進行研發工作。透過不同的配方選擇，我們可以活化表面、去除有機髒汙、還原金屬氧化物、去除光阻與表面改質。此外，通過安裝鍍膜配件於電漿頭，並搭配前驅物輸送系統，我們可以將電漿設備轉變成化學氣相沉積(PECVD)的工具。氬氣電漿屬於RF電容放電，電漿頭出口可見到均勻的輝光，並排出具活性的電漿氣體團。製程氣體也可以透過選擇，輕易的在氧氣、氮氣與氫氣之間進行切換。